技術(shù)編號：12217250
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及藍寶石襯底加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種精確制造波浪紋藍寶石襯底的設(shè)備。背景技術(shù)藍寶石襯底對于制作LED芯片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題，應(yīng)該采用哪種合適的襯底，需要根據(jù)設(shè)備和LED器件的要求進行選擇，市面上一般有三種材料可作為襯底，通常，GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上，藍寶石襯底有許多的優(yōu)點，首先，藍寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好，其次，藍寶石的機械強度高，易于處理和清洗，因此，大多數(shù)工藝一般都以藍寶石作為襯底，現(xiàn)在的藍寶石襯底的在光的提取率上有很大...
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