技術(shù)編號：12201078
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于硅微機械傳感器領(lǐng)域，涉及一種抑制橫向干擾的三維集成微機械加速度傳感器及制作方法。背景技術(shù)隨著微機械系統(tǒng)(MEMS)傳感器技術(shù)的發(fā)展，各種MEMS傳感器倍受人們的關(guān)注，其中微機械加速度傳感器已被廣泛應(yīng)用于不同領(lǐng)域，如在自動控制、振動測試和航空航天領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。壓阻式加速度傳感器的動態(tài)響應(yīng)特性及輸出線性較好，具有廣闊的應(yīng)用前景。然而，在進行各種運動的測量中，一維加速度傳感器已不能很好的滿足應(yīng)用需求，因而三維加速度傳感器便成為MEMS加速度傳感器發(fā)展的一個重要方向。近幾年中，不斷有單片...
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