技術(shù)編號：12185232
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于光刻設(shè)備內(nèi)的膜和包括這種膜的光刻設(shè)備相關(guān)申請的交叉應(yīng)用本申請主張2014年7月4日提交的歐洲申請14175835.9和2015年5月28日提交的歐洲申請15169657.2的權(quán)益，它們在本文中通過參考而合并到本文中。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及到用于光刻設(shè)備內(nèi)的膜，且更具體地涉及到可形成所述設(shè)備內(nèi)的表膜或光學(xué)濾光片部件的部分的極紫外線(EUV)透射膜，及一種包括這種膜的光刻設(shè)備。背景技術(shù)光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上，通常是襯底的目標(biāo)部分上的機器。例如，可以將光刻設(shè)備用在集成電路(IC)的制造中...
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