技術(shù)編號(hào)：12180486
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于顯示技術(shù)領(lǐng)域，更具體的，涉及一種銦鎵鋅氧薄膜晶體管及其制備方法。技術(shù)背景薄膜晶體管液晶顯示是繼集成電路后的第二大電子產(chǎn)業(yè)，高分辨率、大尺寸是薄膜晶體管液晶顯示技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。此外，一種新的顯示裝置有源矩陣發(fā)光二極管也正處于在快速發(fā)展中，有源矩陣發(fā)光二極管在不久的將來具有巨大的市場(chǎng)。然而，無論是薄膜晶體管液晶顯示還是有源矩陣發(fā)光二極管，二者的發(fā)展都依賴于晶體管，需要晶體管具備更高的遷移率和開關(guān)比、更低的閾值電壓和亞閾值斜率。晶體管結(jié)構(gòu)形態(tài)分為頂柵頂接觸、頂柵底接觸、底柵頂接觸、底柵底接觸...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。