技術編號：12173859
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及能夠用于測量氣體的濃度或測量極低壓力的熱流傳感器，從而形成皮拉尼計。背景技術通常，術語“熱流傳感器”是指對例如采用薄膜形式的傳感器的主體與該傳感器置于其中的流體介質(zhì)之間的熱交換進行測量的任何傳感器。熱流傳感器放置在一環(huán)境中，該環(huán)境包含待分析的成分、在氣體傳感器的情況下包含載氣中的分析物(analyte)、或者在皮拉尼計的情況下僅包含特定數(shù)量的氣體分子來測量低氣壓。文獻WO2011/044547描述了TCD(“ThermalConductivityDetector，熱導檢測器”)，該TC...
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