技術(shù)編號：12157244
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種堆疊式MEMS傳感器封裝體、芯片及其制作方法。背景技術(shù)傳感器（sensor）是一種能感受到被測量的信息，并按一定規(guī)律變換為電信號或其他所需形式輸出的器件或裝置。在種類繁多的傳感器中，基于微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的MEMS傳感器成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。與傳統(tǒng)傳感器相比，它具有體積小、成本低、功耗低、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。MEMS傳感器內(nèi)部主要包括用于采集信號的MEMS結(jié)...
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