技術(shù)編號：12153077
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及成膜裝置。背景技術(shù)以往，公知有沿著設(shè)于處理容器內(nèi)的旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)方向載置多個晶圓的成膜裝置。該成膜裝置具有：氣體供給部，其沿著旋轉(zhuǎn)臺的徑向設(shè)置，用于供給處理氣體；加熱器，其設(shè)于旋轉(zhuǎn)臺的下部，用于加熱晶圓。并且，在利用加熱器加熱晶圓、利用氣體供給部噴出了處理氣體的狀態(tài)下，通過使旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)，可對晶圓進行成膜處理。另外，在該成膜裝置中，基于由設(shè)置于加熱器的附近的熱電偶測定的溫度，對向加熱器供給的電力進行控制，從而可進行溫度控制。另外，以往，公知有如下技術(shù)：在沿著設(shè)于處理容器內(nèi)的旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)方向...
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