技術編號：12129427
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種聲波元件保護結構及其制造方法，特別是一種應用于通訊系統(tǒng)中的聲波元件保護結構及其制造方法。背景技術通訊系統(tǒng)中的帶通濾波器(bandpassfilter)由各種聲波元件組成，包括表面聲波濾波器(surfaceacousticwavefilter)以及體聲波濾波器(bulkacousticwavefilter)。聲波元件對于質量負載的效應非常敏感，微小的質量負載即會造成頻率響應的變化，已知8nm厚的鈦負載層就會讓薄膜體聲波共振器(filmbulkacousticwaveresonator...
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