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一種具有石墨烯的功率器件的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:12129195

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體新材料的應(yīng)用領(lǐng)域,具體涉及一種具有石墨烯散熱結(jié)構(gòu)的IGBT功率器件。背景技術(shù)電子產(chǎn)品、機(jī)械、電力、通信、化工等諸多領(lǐng)域,在產(chǎn)品的加工、生產(chǎn)的過程中,以及使用的過程中,都會產(chǎn)生數(shù)量不同的熱量。而且,所產(chǎn)生的熱量如果不能得到有效散發(fā)的話,則會對產(chǎn)品的加工及使用,均有可能造成影響。目前廣泛使用有各種各樣的散熱材料。不同類型的散熱材料,會具有不同的性能。比如說,金屬材料的導(dǎo)熱性能良好,特別是其中的一部分金屬材料,如石墨烯、鋁、銀等,其導(dǎo)熱性能尤其良好。比如,石墨烯質(zhì)的散熱器、鋁質(zhì)的散熱器...
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