技術(shù)編號：12129154
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種淺溝槽隔離結(jié)構(gòu)及其形成方法、CMOS圖像傳感器。背景技術(shù)集成電路技術(shù)使得人類的生產(chǎn)生活產(chǎn)生了巨大的變化。例如，在圖像領(lǐng)域中，互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)圖像傳感器已經(jīng)成為了各個行業(yè)在成像領(lǐng)域中的重要一員，并且有效的突破CCD成像的局限性，促進(jìn)諸多領(lǐng)域的進(jìn)步。具體的，CMOS圖像傳感器是通過對光電效應(yīng)產(chǎn)生的光電子，進(jìn)行有效的讀取，從而產(chǎn)生對應(yīng)的圖像信息。如圖1所示，CMOS圖像傳感器包括多個像素101，相鄰像素101之間由淺溝槽隔離結(jié)構(gòu)102隔離。正常情...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。