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用于光源-掩膜優(yōu)化的圖形選擇方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12122133

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,具體而言涉及一種用于光源-掩膜優(yōu)化(source-maskoptimization,SMO)的圖形選擇方法。背景技術(shù)隨著集成電路的復(fù)雜度越來(lái)越高,特征尺寸也變得越來(lái)越小。當(dāng)集成電路的特征尺寸接近光刻機(jī)曝光的系統(tǒng)極限,即特征尺寸接近或小于光刻光源時(shí),硅片上制造出的版圖會(huì)出現(xiàn)明顯的畸變。為此光刻系統(tǒng)必須采用分辨率增強(qiáng)(RET)技術(shù),用以提高成像質(zhì)量。隨著技術(shù)往關(guān)鍵尺寸更小的方向發(fā)展,僅對(duì)掩膜實(shí)施優(yōu)化的常規(guī)光學(xué)鄰近修正(OpticalProximityCorrection,O...
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