技術(shù)編號(hào):12100480
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及納米技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種模板熱壓制備維納結(jié)構(gòu)表面形貌的方法。背景技術(shù)對(duì)材料表面進(jìn)行維納加工是現(xiàn)代微電子技術(shù)、納米技術(shù)、能源技術(shù)等的核心工序之一。通過(guò)對(duì)材料表面的微納加工處理,可以使材料表面呈現(xiàn)特定的圖案,用于各種不同的目的,如:集成電路設(shè)計(jì)、MEMS系統(tǒng)設(shè)計(jì)、摩擦發(fā)電機(jī)摩擦層處理等。目前主要運(yùn)用的方式是刻蝕,包括等離子刻蝕、電子束刻蝕、化學(xué)刻蝕等??涛g方法可以賦予材料較為完好的設(shè)計(jì)圖案。但是,由于刻蝕法需要特定的儀器與設(shè)備,處理時(shí)間長(zhǎng),所以會(huì)在一定程度上降低生產(chǎn)效率,增加生產(chǎn)成本。還...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。