技術編號：12099750
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型屬于化工設備技術領域，涉及一種硅化鎂與氯化銨反應生產乙硅烷的裝置，尤其涉及一種乙硅烷反應釜。背景技術乙硅烷是一種很有前途的硅膜先體，是半導體工業(yè)中頗有吸引力的特種氣體之一。可用作無定形硅薄膜、光化學纖維原料以及硅氧烷等的優(yōu)良原料，在半導體、光電材料等領域有著廣泛的應用前景和實際價值。與甲硅烷相比，它具有沉積速度快、溫度要求低、膜均勻度高等優(yōu)越性。但是，現有乙硅烷的制備方法主要因產率低、副產品多、相對復雜，不利于操作導致生產成本過高，這在很大程度上限制了其應用。目前，乙硅烷的合成方法主要...
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