技術(shù)編號:12088694
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種鍍膜硫系鏡片及其制備方法。背景技術(shù)中國專利201610187323.5公開了一種硫系玻璃及其制備方法。這種硫系玻璃包括硫系玻璃基體和沉積于硫系玻璃基體表面的鍍膜層。鍍膜層自硫系玻璃基體起依次為碳化鍺膜層和沉積于碳化鍺膜層表面的類金剛石膜層。這種硫系玻璃采用磁控濺射法,選擇純鍺靶材,以甲烷和氬氣的混合氣體為工作氣體,向硫系玻璃基體的表面鍍制碳化鍺薄膜,形成硫系玻璃基體的碳化鍺膜層;采用等離子體化學(xué)氣相沉積法,以甲烷氣體為工作氣體,向硫系玻璃基體表面的碳化鍺膜層的表面鍍制類金剛石薄膜,...
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