技術編號：12086559
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種氮化鋁的制備方法。背景技術氮化鋁(AlN)作為一種重要的ⅢA族氮化物，屬共價鍵化合物，六方晶系，纖鋅礦結構。它既是優(yōu)異的結構材料，又是特殊的功能材料，具有許多優(yōu)異的性能，近年來受到了人們極大的關注。主要表現在以下幾個方面，其極高的電阻率以及較低的介電常數，很顯然就具有極佳的絕緣特性，可以作為高溫和大功率電子器件的封裝材料[1-3]。其極高的熱導率(320W·m-1·K-1)大約是A12O3的10倍，非常適合于作為大功率器件、集成電路的散熱材料[4-6]；其低的熱膨脹系數(4.3xl...
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