技術(shù)編號：12066606
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電子器件領(lǐng)域，并且更特別地，涉及一種新型的可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器的制備方法。背景技術(shù)可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器由于波長可調(diào)諧、體積小、成本低等優(yōu)點，在高性能計算機、傳感器、光通信系統(tǒng)中得到廣泛的應(yīng)用。寬范圍波長可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器的制造涉及到微機械結(jié)構(gòu)與激光器的結(jié)合，從而實現(xiàn)對腔長的控制，進而實現(xiàn)波長調(diào)諧。根據(jù)微機械結(jié)構(gòu)的不同，可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器的制造總體上涉及兩種方式：(1)結(jié)構(gòu)通過一次外延形成，然后通過腐蝕犧牲層來形成空腔，該方法橫向腐蝕困難，結(jié)構(gòu)層在腐蝕過程中容...
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