技術(shù)編號：12065887
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本揭露是關(guān)于一種半導(dǎo)體及其制造方法，特別是關(guān)于制造堆疊納米線晶體管的方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體集成電路(IC)工業(yè)中，集成電路材料的技術(shù)進步與設(shè)計已產(chǎn)生數(shù)代集成電路，其中與前代相比各代具有更小且更復(fù)雜的電路。在集成電路發(fā)展過程中，一般而言，功能密度(即，每晶片面積互連元件的數(shù)量)不斷增加而幾何尺寸(即，使用制造制程可產(chǎn)生的最小元件(或接線))則不斷減少。此縮小化的制程通常通過增加生產(chǎn)效率并降低相關(guān)成本提供優(yōu)勢。然而，此縮小化的制程縮小亦增加集成電路處理與制造的復(fù)雜性。一種縮小化的晶體管的型態(tài)為堆疊納...
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