技術編號：12060815
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微機電系統技術領域，特別是涉及一種壓力傳感器的制備方法。背景技術微機電系統(MicroelectroMechanicalSystems，簡稱MEMS)是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域，是一種采用半導體工藝制造微型機電器件的技術。與傳統機電器件相比，MEMS器件在耐高溫、小體積、低功耗方面具有十分明顯的優(yōu)勢。經過幾十年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領域之一，它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。壓力傳感器是一種將壓...
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