技術(shù)編號：12033929
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電動機(jī)的控制領(lǐng)域，具體涉及一種具有偏壓補償?shù)乃欧刂葡到y(tǒng)及其偏壓補償方法。背景技術(shù)光刻機(jī)是芯片制造行業(yè)中的關(guān)鍵設(shè)備，集成電路的發(fā)展與光刻機(jī)的發(fā)展息息相關(guān)。其中精密傳輸技術(shù)作為光刻機(jī)中一項關(guān)鍵技術(shù)，扮演著越來越重要的角色。在光刻機(jī)對硅片進(jìn)行加工刻錄之前，硅片的精確定位至關(guān)重要，精密傳輸系統(tǒng)采用伺服控制的方式實現(xiàn)硅片的精確定位，因此伺服控制的精確性決定生產(chǎn)工藝及產(chǎn)品的品質(zhì)，任何細(xì)微的位移偏差都會對產(chǎn)品的質(zhì)量造成巨大的影響。如圖1所示，伺服控制系統(tǒng)一般采用多閉環(huán)的控制方式，由外到內(nèi)環(huán)依次包括...
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