技術(shù)編號：12028160
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于微機械慣性傳感器封裝領(lǐng)域，具體涉及一種微機械慣性傳感器的三維封裝方法。背景技術(shù)微機械慣性傳感器一般能夠?qū)d體在慣性空間的角速率和加速度進行測量，因此其多軸組合在慣性導(dǎo)航以及制導(dǎo)領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。由于微機械慣性傳感器大多要求內(nèi)部結(jié)構(gòu)排布緊湊，若敏感元件與外圍電路距離過遠則會導(dǎo)致性能大幅下降，因此目前在多軸微機械慣性傳感器的三維封裝通常采用將裝載微機械慣性傳感器全部規(guī)模的電路板安裝在六面體表面的方法上來實現(xiàn)，該六面體基座往往會占用微機械慣性傳感器多軸組合大部分的體積和質(zhì)量，嚴重制約微機械慣性傳...
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