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夾心串聯(lián)式PIN結(jié)構(gòu)α輻照電池及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12009677

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本發(fā)明屬于微電子領(lǐng)域,涉及半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)及制備方法,具體地說(shuō)是一種碳化硅基的夾心串聯(lián)式PIN結(jié)構(gòu)α輻照電池及其制備方法,可用于微納機(jī)電系統(tǒng)等微小電路和航空航天、深海、極地等需長(zhǎng)期供電且無(wú)人值守的場(chǎng)合。技術(shù)背景隨著人們對(duì)于低功耗、長(zhǎng)壽命、高可靠性和小體積供電設(shè)備的需求,以及對(duì)核廢料處理的關(guān)注,微型核電池變得愈發(fā)關(guān)注。微型核電池由于其突出的特點(diǎn)可用來(lái)解決微型管道機(jī)器人、植入式微系統(tǒng)、無(wú)線傳感器節(jié)點(diǎn)網(wǎng)絡(luò)、人工心臟起搏器和便攜式移動(dòng)電子產(chǎn)品等的長(zhǎng)期供電問(wèn)題。并有望取代太陽(yáng)能電池和熱電式放射性同位素電池,...
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