技術(shù)編號(hào)：12009307
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于去除光刻膠的剝離液和相關(guān)的應(yīng)用工藝，特別是用于剝離工藝的光刻膠的去除。背景技術(shù)光刻膠是一種感光材料，由感光樹脂、感光劑和溶劑三部分組成的混合液體。感光樹脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng)，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當(dāng)?shù)娜軇┨幚?，溶去可溶性部分，光刻膠便能形成所需圖像，主要應(yīng)用于微電子制造領(lǐng)域。例如在半導(dǎo)體器件、液晶裝置和集成電路中，需要利用光刻膠在基片上進(jìn)行涂布、曝光等一系列步驟完成刻蝕技術(shù)，其作用是將需要刻蝕的圖形從掩膜板上轉(zhuǎn)移到...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。