亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

一種用于多腔室處理的晶圓片傳遞裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12008684

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶圓片制造工藝,尤其涉及一種多機(jī)械手爪的全自動(dòng)單晶圓濕法處理設(shè)備的晶圓片傳遞裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓片制造工藝過(guò)程中,需要在各個(gè)工位之間對(duì)晶圓片進(jìn)行傳遞,隨著晶圓片處理工藝復(fù)雜程度的提高,往往需要在多個(gè)不同的腔室對(duì)晶圓片進(jìn)行處理,不同腔室之間使用不同的化學(xué)藥液,使用傳統(tǒng)的單機(jī)械手爪或雙機(jī)械手爪,同一個(gè)機(jī)械手爪會(huì)在不同的腔室中重復(fù)使用,由于不同的腔室的工藝功能不同,所使用的化學(xué)液也不同,同一個(gè)機(jī)械手爪會(huì)把上一個(gè)腔室的化學(xué)液傳遞到下一個(gè)腔室,這樣就會(huì)造成晶圓片在不同腔室的交叉污染,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 賀老師:氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學(xué)及工程應(yīng)用
  • 楊老師:工程電磁場(chǎng)與磁技術(shù),無(wú)線電能傳輸技術(shù)
  • 許老師:1.氣動(dòng)光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測(cè) 3.故障診斷和健康管理
  • 王老師:智能控制理論及應(yīng)用;機(jī)器人控制技術(shù)
  • 李老師:1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場(chǎng)理論
  • 寧老師:1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實(shí)踐
  • 楊老師:1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機(jī)理及壽命預(yù)測(cè) 2.局部放電在線監(jiān)測(cè)及模式識(shí)別 3.電力設(shè)備在線監(jiān)測(cè)及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
  • 王老師:1.無(wú)線電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)