技術(shù)編號:12008146
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及晶閘管技術(shù)領(lǐng)域,更具體的說涉及一種單臺面工藝的晶閘管、用于制造晶閘管的芯片及其制作方法。背景技術(shù)電力半導體器件晶閘管,主要包括外殼、芯片、框架三部分,其核心部分在于芯片,芯片的陽極焊接在框架上,芯片的門極和陰極分別通過導線連接到框架相應的管腳上,外殼起到保護芯片的作用。晶閘管芯片的制造方法按工藝分類可以分為:臺面工藝和平面工藝,臺面工藝又分為雙臺面工藝和單臺面工藝;1.雙臺面工藝:由于雙臺面工藝不采用隔離擴散,工藝相對簡單。但是:①該結(jié)構(gòu)的硅片在生產(chǎn)制造過程中容易破碎;②臺面的鈍化保護...
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