技術(shù)編號：11955553
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種在半導(dǎo)體表面加工金屬圖案的方法，屬于半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)高分辨率、低成本的加工工藝是半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展的重大需求。一個(gè)典型的代表就是將目標(biāo)圖案轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體基底上，金屬圖案的加工是其中最具挑戰(zhàn)的一項(xiàng)。半導(dǎo)體表面的金屬圖案作為集成電極或電感應(yīng)/磁感應(yīng)元件在MEMS器件、光電子器件、磁效應(yīng)器件中有著廣泛的應(yīng)用，半導(dǎo)體表面的金屬圖案還能夠作為催化劑催化半導(dǎo)體表面的化學(xué)反應(yīng)如金屬輔助化學(xué)刻蝕來代替等離子刻蝕等傳統(tǒng)的方法來在半導(dǎo)體表面加工微結(jié)構(gòu)。另外，金屬圖案和半導(dǎo)體表面結(jié)合形成的金屬/半...
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