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一種40G100G 濾光片薄膜鍍制方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11947427

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一種40G100G濾光片薄膜鍍制方法技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種濾光片薄膜鍍制方法,具體是一種40G100G濾光片薄膜鍍制方法。背景技術(shù)現(xiàn)有的濾光片薄膜鍍制方法中,在進(jìn)行鍍膜基板預(yù)處理時(shí),考慮該類(lèi)型產(chǎn)品鍍膜膜厚度很大,膜層應(yīng)力大,應(yīng)力會(huì)引發(fā)產(chǎn)品面型發(fā)生變化,常規(guī)用厚玻璃(10mm)來(lái)做基板玻璃,先將一面進(jìn)行膜鍍膜,這樣可以保證基板不變形,再通過(guò)冷加工工藝減薄到0.55mm,上述工藝存在的缺陷是:鍍膜產(chǎn)品的兩面平行度較差,面型較差,平行度只能做到0.1,面型只能做到1λ至1.8λ。在進(jìn)行膜層應(yīng)力控制時(shí),...
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