技術(shù)編號：11934618
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種設(shè)置在半導(dǎo)體制造設(shè)備或化學(xué)產(chǎn)業(yè)設(shè)備、藥品產(chǎn)業(yè)設(shè)備、食品產(chǎn)業(yè)設(shè)備等的流體供給線上并進(jìn)行流體流量控制的壓電元件驅(qū)動式閥以及具備壓電元件驅(qū)動式閥的流量控制裝置的改良，特別是涉及一種在能夠增大壓電元件的位移量的同時，不給配線等帶來障礙的壓電元件驅(qū)動式閥以及具備壓電元件驅(qū)動式閥的流量控制裝置。背景技術(shù)目前，在半導(dǎo)體制造設(shè)備或化學(xué)產(chǎn)業(yè)設(shè)備等的流體供給線中，廣泛利用壓電元件驅(qū)動式閥以及具備壓電元件驅(qū)動式閥的流量控制裝置(例如，參照發(fā)明專利文獻(xiàn)1、發(fā)明專利文獻(xiàn)2、發(fā)明專利文獻(xiàn)3、發(fā)明專利文獻(xiàn)4、發(fā)...
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