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一種玻璃鈍化半導(dǎo)體器件及其制作方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11928149

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本發(fā)明通常應(yīng)用于半導(dǎo)體器件,尤其是一種采用以鋁硅酸鹽為基本成分,如PbO-或者ZnO-鋁硅酸鹽,氧化玻璃保護層的表面鈍化器件,適用于高壓應(yīng)用。更具體地說,它涉及高可靠性器件,尤其是在高偏壓-高溫應(yīng)力(BT-Stress)條件下。背景技術(shù)眾所周知,因半導(dǎo)體器件參數(shù)對于PN結(jié)附近的表面的可移動電荷的沾污和累積的高敏感性,在高要求應(yīng)用環(huán)境,半導(dǎo)體器件的表面鈍化技術(shù)是獲得高可靠性的主要因素之一。在各種各樣鈍化設(shè)計和方法之中,現(xiàn)有的玻璃鈍化技術(shù),如1965年10月19日,美國專利3212921,已為半導(dǎo)體...
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