技術(shù)編號(hào):11912082
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種薄膜材料技術(shù)領(lǐng)域的微納材料的力學(xué)性能測(cè)試裝置,具體的說(shuō)是一種具有夾持對(duì)中引導(dǎo)的柔性鉸鏈微構(gòu)件拉伸測(cè)試裝置。背景技術(shù)隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的迅速發(fā)展,各種材料的微構(gòu)件被廣泛應(yīng)用于微器件中。MEMS微構(gòu)件的尺寸一般在毫米級(jí)到微米級(jí),受加工工藝,尺寸效應(yīng),表面缺陷等因素影響,微尺寸下材料的力學(xué)性能與宏觀尺寸下的力學(xué)性能可能發(fā)生較大的變化。因此微構(gòu)件力學(xué)性能是研究MEMS重要的理論基礎(chǔ),對(duì)MEMS器件的可靠性設(shè)計(jì)十分重要。單軸拉伸試驗(yàn)是測(cè)量材料彈性模量、泊松比、屈服強(qiáng)度和斷裂強(qiáng)度等...
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