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前開(kāi)式環(huán)形盒的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11586442

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本發(fā)明的實(shí)施方式涉及在制造半導(dǎo)體晶片中使用的群集工具組件,更具體地涉及實(shí)現(xiàn)從群集工具組件輸送和移除消耗部件(consumablepart)的更換站。背景技術(shù)在制造工藝中使用以產(chǎn)生半導(dǎo)體晶片的典型的群集工具組件包括一個(gè)或多個(gè)處理模塊,其中每個(gè)處理模塊用于執(zhí)行如清潔操作、沉積、蝕刻操作、漂洗操作、干燥操作等特定制造操作。用于執(zhí)行這些操作的化學(xué)過(guò)程和/或處理?xiàng)l件導(dǎo)致經(jīng)常暴露到處理模塊內(nèi)的惡劣條件下的處理模塊的硬件組件中的一些損壞。這些受損的或磨損掉的硬件組件需要周期性地且及時(shí)地更換,以確保受損的硬件組...
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