技術編號：11877437
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及自動轉(zhuǎn)動控制技術、真空領域及磁約束聚變技術領域，尤其涉及一種磁力傳動式分子泵葉片自動清洗機。背景技術托卡馬克是一種磁約束聚變裝置，其主要目的是通過磁場把等離子體長時間約束在真空室中以產(chǎn)生核聚變能發(fā)電。為了維持真空室的高真空，必須采用大抽速的分子泵不間斷的對真空室抽氣；為了實現(xiàn)雜質(zhì)抑制以及控制粒子再循環(huán)，必須對真空室壁進行鍍膜壁處理。目前，鋰化壁處理已經(jīng)成為EAST常規(guī)的壁處理手段，是EAST物理試驗獲得高參數(shù)的有利保障。鋰化壁處理主要是通過鋰蒸發(fā)時借助輝光放電或者離子回旋放電等手段在托...
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