技術(shù)編號：11875170
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。加工腔室的逆流混合器相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2015年11月9日提交的的美國臨時申請62/253,016的權(quán)益，其通過引用納入本文。發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體加工工具。更具體的，本發(fā)明涉及從小流動管向大流動管移動的氣體的低壓混合器。發(fā)明背景一些清潔加工或其他低真空加工需要在等離子源(PS)和晶片加工室之間混合氣體/蒸氣。例如NF3/NH3加工可用于從Si中移除SiO2。在該加工中，Ar在注射入頂部等離子源之前與NF3混合。在PS中生產(chǎn)等離子，其除了對Ar/NF3混合物進(jìn)行一些電離之外還生產(chǎn)...
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