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一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器及其制備方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11870277

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本發(fā)明涉及一種多層壓電致動(dòng)器,具體涉及一種大應(yīng)變多層無(wú)鉛壓電致動(dòng)器及其制備方法。背景技術(shù)壓電陶瓷致動(dòng)器利用壓電材料逆壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)換為機(jī)械應(yīng)變或應(yīng)力,克服了機(jī)械式、液壓式、氣動(dòng)式、電磁式等傳統(tǒng)執(zhí)行器慣性大、響應(yīng)慢、結(jié)構(gòu)復(fù)雜、可靠性差等不足,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、位移精度高、響應(yīng)快、驅(qū)動(dòng)力大、無(wú)電磁干擾、無(wú)噪聲、結(jié)構(gòu)剛度大等優(yōu)點(diǎn)??蓱?yīng)用于微型機(jī)械制造、超精密加工、精密光學(xué)儀器、生物工程、集成電路制造、醫(yī)療科學(xué)、光纖對(duì)接、光學(xué)微處理系統(tǒng)以及航空航天等領(lǐng)域,市場(chǎng)極為巨大。但是當(dāng)前多層使用鉛基壓電材料,其中P...
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