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溝槽引出集成型低壓雙向瞬時電壓抑制器及其制造方法與流程技術資料下載

技術編號:11869730

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本發(fā)明涉及溝槽引出的集成型低壓雙向瞬時電壓抑制器及其制造方法,為低壓雙向瞬時電壓抑制器的改良結構,屬半導體制造技術領域。背景技術瞬時電壓抑制器(TVS)被廣泛的應用在集成電路上,以保護集成電路內(nèi)部不受突發(fā)的過電壓帶來的損害。目前應用于手機、汽車電子和安防各行業(yè)的TVS器件不僅要求具有小的結電容,而且數(shù)據(jù)端口間或者數(shù)據(jù)端口和地間還要能承受差分的大電壓信號,解決這兩個問題傳統(tǒng)的做法是在瞬時電壓抑制器上串接一個低電容的正向二極管,并用多顆芯片合封,其結果造成封裝成本高,產(chǎn)品面積大。隨著集成電路工藝尺寸...
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