技術(shù)編號：11837146
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及傳感器制備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種聲表面波溫度傳感器的結(jié)構(gòu)及制作方法。背景技術(shù)聲表面波溫度傳感器相比于普通傳感器，具有低成本、高靈敏度、穩(wěn)定性好等獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，而且借助無線讀取系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)無線無源檢測，可廣泛應(yīng)用于電力、汽車、家居、工業(yè)制造等行業(yè)。但是聲表面波溫度傳感器存在電極的質(zhì)量加載效應(yīng)及電極容易氧化等問題，尤其是在高頻情況下，這種問題更容易造成器件性能的變化。為了解決這些問題，我們結(jié)合電極制造工藝及保護(hù)層沉積工藝，設(shè)計(jì)了一種新型的聲表面波溫度傳感器制作方法。發(fā)明內(nèi)容(一)要解決的技...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。