技術(shù)編號：11836237
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種檢測裝置及半導(dǎo)體加工設(shè)備。背景技術(shù)半導(dǎo)體制造行業(yè)是一個高度自動化的行業(yè)，為提高工藝過程的可靠性，需要進(jìn)行多方面的檢測，再根據(jù)檢測結(jié)果來判斷工藝是否正常，例如，需要進(jìn)行在傳輸過程和/或傳輸過程之后檢測晶片是否存在，通常稱之為WPS(WaferPresenceSensor)檢測。目前，為實現(xiàn)WPS檢測，現(xiàn)有技術(shù)中常用以下兩種檢測方式實現(xiàn)。具體地，第一種方式為：請參閱圖1a和圖1b，WPS檢測裝置為回歸反射式傳感器，其包括發(fā)射接收部1和反射板2，且二者分別設(shè)置...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。