技術(shù)編號：11806413
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種導(dǎo)熱率探測器。背景技術(shù)由WO2009/095494A1公開了一種具有能電加熱的加熱絲的導(dǎo)熱率探測器，該加熱絲在中央并且在通道的縱向方向上能由流體環(huán)流地支承，并且為此在其兩端保持在橫穿通道的導(dǎo)電支架處。為了獲得抵抗化學(xué)腐蝕性氣體混合物的高的壽命和惰性，加熱絲和支架由摻雜的硅構(gòu)成。該摻雜的硅可以在由二氧化硅構(gòu)成的絕緣層的中間層的下方布置在硅基板上，其中，在腐蝕工藝中通過對硅基板進行結(jié)構(gòu)化，二氧化硅層和由摻雜的硅構(gòu)成的層形成了支架和加熱絲，并且在承載板上形成溝槽。由EP1381854B1...
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