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無(wú)堿玻璃和無(wú)堿玻璃的制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11802585

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本發(fā)明涉及適合作為各種顯示器用基板玻璃和光掩模用基板玻璃、實(shí)質(zhì)上不含堿金屬氧化物且能夠進(jìn)行浮法成形的無(wú)堿玻璃。背景技術(shù)以往,對(duì)于各種顯示器用基板玻璃、特別是在表面上形成金屬或氧化物薄膜等的基板玻璃,要求以下所示的特性。(1)含有堿金屬氧化物時(shí),堿金屬離子會(huì)向薄膜中擴(kuò)散而使膜特性劣化,因此要實(shí)質(zhì)上不含堿金屬離子。(2)在薄膜形成工序中暴露于高溫時(shí),為了將玻璃的變形和伴隨玻璃的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定化產(chǎn)生的收縮(熱收縮)抑制在最小限度,應(yīng)變點(diǎn)要高。(3)要對(duì)半導(dǎo)體形成中使用的各種化學(xué)品具有充分的化學(xué)耐久性。特別是...
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