技術(shù)編號：11765073
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于制造MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))壓力傳感器的方法和相應(yīng)的MEMS壓力傳感器。背景技術(shù)使用微機(jī)械技術(shù)(通常為MEMS)制造的集成半導(dǎo)體壓力傳感器是公知的。這些傳感器例如被使用在便攜式或可穿戴電子裝置內(nèi)，或者被使用在汽車領(lǐng)域中例如用于氣壓計(jì)應(yīng)用。特別地，壓阻式壓力傳感器是公知的，其操作基于壓電電阻率，即基于當(dāng)對一些材料施加機(jī)械應(yīng)力以使它們經(jīng)受改變時(shí)，這些材料修改它們的電阻率的能力。例如，當(dāng)壓縮應(yīng)力被施加時(shí)電阻率減小，而當(dāng)拉伸應(yīng)力被施加時(shí)電阻率增大。壓阻式壓力傳感器一般包括薄膜(或隔膜)，其被...
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