技術(shù)編號(hào):11765064
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體涉及MEMS器件的系統(tǒng)和方法,并且在特定實(shí)施例中,涉及用于控制MEMS結(jié)構(gòu)的快速加熱和冷卻的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)通常包括各種電氣和機(jī)械部件的微型化的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)由各種材料和制造方法生產(chǎn),并且在各種各樣的應(yīng)用中是有用的。這些應(yīng)用包括汽車電子、醫(yī)療設(shè)備和智能便攜式電子設(shè)備諸如蜂窩電話、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、硬盤驅(qū)動(dòng)器、計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備和無(wú)線設(shè)備。在這些應(yīng)用中,MEMS可以用作傳感器、致動(dòng)器、加速度計(jì)、開關(guān)、微鏡和許多其它器件。MEMS用于用在測(cè)量溫度的溫度傳感器中或用在它們需要被...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。