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用于快速加熱和冷卻循環(huán)的MEMS加熱器或發(fā)射器結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11765064

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本發(fā)明大體涉及MEMS器件的系統(tǒng)和方法,并且在特定實(shí)施例中,涉及用于控制MEMS結(jié)構(gòu)的快速加熱和冷卻的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)通常包括各種電氣和機(jī)械部件的微型化的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)由各種材料和制造方法生產(chǎn),并且在各種各樣的應(yīng)用中是有用的。這些應(yīng)用包括汽車電子、醫(yī)療設(shè)備和智能便攜式電子設(shè)備諸如蜂窩電話、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、硬盤驅(qū)動(dòng)器、計(jì)算機(jī)外圍設(shè)備和無(wú)線設(shè)備。在這些應(yīng)用中,MEMS可以用作傳感器、致動(dòng)器、加速度計(jì)、開關(guān)、微鏡和許多其它器件。MEMS用于用在測(cè)量溫度的溫度傳感器中或用在它們需要被...
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