技術(shù)編號：11733661
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于微納器件制備與應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種雙層納米孔的生物分子檢測器件的制作方法，特別是涉及一種DNA堿基序列檢測的雙層SiN納米孔結(jié)構(gòu)及其制作方法。背景技術(shù)使用納米孔(nanopore)進行DNA分子堿基序列的識別已經(jīng)研究20年。當(dāng)DNA分子在電場力的作用下穿過納米孔時，改變納米孔內(nèi)的離子電流幅值，并借該電流幅值來識別堿基。因為堿基之間的堿基很小，在0.34nm。所以科學(xué)家們一直追求更薄的納米孔，如石墨烯，二硫化鉬，氮化硼等超薄材料制作成的納米孔。但是，都沒有考慮到DNA分子在溶液中的熱運...
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