技術(shù)編號(hào)：11730777
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料制備領(lǐng)域，特別涉及一種氮化物納米帶的制備方法，旨在獲得尺寸和結(jié)構(gòu)可控的氮化物納米帶。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，集成電路工藝水平的創(chuàng)新，芯片的集成度不斷提高，光電子器件特征尺寸的不斷減小，尺寸的縮小給工藝帶來了極大的挑戰(zhàn)。由于量子隧穿效應(yīng)，加工線寬不能無限制的減小，而且當(dāng)材料尺寸達(dá)到納米級時(shí)會(huì)產(chǎn)生一系列由小尺寸引起的問題，因此納米科學(xué)技術(shù)被認(rèn)為是21世紀(jì)最具有發(fā)展前景的科學(xué)技術(shù)，它已推動(dòng)材料、能源、信息、環(huán)境、生醫(yī)學(xué)、農(nóng)業(yè)、國防等各個(gè)領(lǐng)域的巨大變革。氮化鋁、氮化鎵為直接帶...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。