技術(shù)編號：11730744
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明關(guān)于一種金屬氧化物半導體薄膜晶體管的制作方法，尤指一種利用兩道蝕刻制程分別對導電層的不同區(qū)域蝕刻以形成源極與汲極的金屬氧化物半導體薄膜晶體管的制作方法。背景技術(shù)近年來，各種平面顯示器的應用發(fā)展迅速，各類生活用品例如電視、移動電話、汽機車、甚至是冰箱，都可見與平面顯示器互相結(jié)合的應用。在平面顯示器技術(shù)中，薄膜晶體管(thinfilmtransistor,TFT)為一種被廣泛應用的半導體組件，例如應用在液晶顯示器(liquidcrystaldisplay,LCD)、有機發(fā)光二極管(organi...
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