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DBC生產(chǎn)用陶瓷基板燒結(jié)治具的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:11707483

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本實用新型屬于微電子加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種DBC生產(chǎn)用陶瓷基板燒結(jié)治具。背景技術(shù)DBC(覆銅陶瓷基板)主要應(yīng)用到微電子器件中,目前多數(shù)采用的是覆銅氧化鋁陶瓷基板和覆銅氮化鋁陶瓷基板。此外,覆銅陶瓷基板母版尺寸會根據(jù)實際情況呈現(xiàn)不同大小,所以陶瓷在覆銅燒結(jié)時就需要根據(jù)基板的大小選擇不同規(guī)格的燒結(jié)治具。目前,現(xiàn)有技術(shù)中存在以下問題:(1)重新定制治具需要一定的時間,影響生產(chǎn)效率;(2)每種規(guī)格治具的使用頻率不定,有的可能只使用一次就不再使用,會造成極大的浪費,不利于節(jié)約生產(chǎn)成本。實用新型內(nèi)容...
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