技術編號：11706704
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及光束變換技術領域，尤其是涉及一種光束變換裝置和激光加工裝置。背景技術在微電子學、生物醫(yī)學、信息產業(yè)領域，人們越來越多地使用各種光束，尤其是激光束作為刻刀，來解決微芯片制造、光盤存儲器、微型編碼器的制作、激光標記標刻等有關精細加工問題。目前在相關工廠的生產線上廣泛使用的是TEMoo單模激光束，但是，這種激光束不能用于超精超微加工，因為該激光束遵循的是高斯分布特性，激光束的中心強度高而邊緣強度弱，從而使得被刻劃的線條、文字、圖案的輪廓不清、邊緣模糊，滿足不了超精微加工的特殊要求。針對現有的...
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