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技術(shù)編號：11699212

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用于去除爆炸性氣體中的顆粒的靜電除塵設(shè)備發(fā)明背景發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及用于去除爆炸性廢氣中的顆粒的靜電除塵設(shè)備。相關(guān)技術(shù)的描述在生產(chǎn)半導(dǎo)體材料、設(shè)備和產(chǎn)品及存儲(chǔ)器設(shè)備以用于工藝裝置時(shí)產(chǎn)生的廢氣和在這種情況下的各種化學(xué)化合物一起被產(chǎn)生。這些化合物包括無機(jī)化合物和有機(jī)化合物、光致抗蝕劑的沉淀物、其它反應(yīng)物質(zhì)以及應(yīng)該在從工藝裝置排放到空氣之前從廢氣去除的各種其它氣體。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，產(chǎn)生含有強(qiáng)毒性的有害物質(zhì)的廢氣，并且鑒于污染防治，禁止排放廢氣。此外，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，產(chǎn)生了作為廢氣的大量爆炸性氣體...
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