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一種半導(dǎo)體器件及其制備方法、電子裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11692103

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,具體地,本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件及其制備方法、電子裝置。背景技術(shù)隨著集成電路技術(shù)的持續(xù)發(fā)展,芯片上將集成更多器件,芯片也將具有更快的速度。在這些要求的推進(jìn)下,器件的幾何尺寸將不斷縮小,在芯片的制造工藝中不斷采用新材料、新技術(shù)和新的制造工藝。目前半導(dǎo)體器件的制備工藝逐漸成熟。在半導(dǎo)體器件制備過(guò)程中通常需要使用接觸孔104進(jìn)行電連接,在接觸孔的制備過(guò)程中,如圖2所示,通常先蝕刻襯底101上的介電層102、粘結(jié)膠層103以形成接觸孔開(kāi)口,然后在所述接觸孔開(kāi)口中填充導(dǎo)電材料并進(jìn)行平...
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