技術(shù)編號：11676474
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于光電子集成芯片領(lǐng)域，具體涉及一種基于光子芯片上微環(huán)腔可實現(xiàn)多種共振線型的緊湊光子結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)微環(huán)腔是一種典型的光學(xué)諧振腔。具有非常緊湊的結(jié)構(gòu)尺寸、較高的品質(zhì)因子和消光比，是構(gòu)成光電子集成芯片的重要光子器件之一。通過與其它主動或被動器件的集成，微環(huán)腔已被廣泛應(yīng)用于片上光互連、光傳感芯片等領(lǐng)域。在光子芯片上，微環(huán)腔的功能實現(xiàn)一般需與一根通道波導(dǎo)側(cè)耦合，即構(gòu)成波導(dǎo)-微環(huán)腔耦合結(jié)構(gòu)，以使微環(huán)腔中共振光場信號可測量。光在耦合進入直波導(dǎo)后，在波導(dǎo)與微環(huán)腔靠近的部位通過空氣間隙直接耦合進入微環(huán)腔，...
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