技術(shù)編號：11675761
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明大體上涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器封裝。更具體來說，本發(fā)明涉及一種MEMS壓力傳感器，其具有可變感測間隙以用于改變壓力傳感器的靈敏度。背景技術(shù)具有嵌入機械組件的微機電系統(tǒng)(MEMS)裝置包括例如壓力傳感器、加速計、陀螺儀、麥克風、數(shù)字鏡面顯示器、微型射流裝置等。MEMS裝置用于多種產(chǎn)品中，例如汽車安全氣囊系統(tǒng)、汽車內(nèi)控制應用程序、導航、顯示系統(tǒng)、噴墨盒等。電容性感測MEMS裝置設計對于微型化裝置中的操作是非常需要的，這是因為它們的低溫靈敏度、小尺寸并且適合低成本大批量生產(chǎn)。MEMS壓力...
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