技術(shù)編號：11630619
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種末端執(zhí)行器的變形檢測方法及實現(xiàn)該方法的機械手系統(tǒng)。背景技術(shù)以往為了搬送半導(dǎo)體組件的基板材料即晶圓，是使用于機器手臂的梢端具備叉子形狀的末端執(zhí)行器的晶圓搬送機械手。該末端執(zhí)行器，是薄板狀的機器手部，且末端執(zhí)行器的基座部以懸臂方式被支承在機器手臂的腕部。因此，有時會因末端執(zhí)行器的本身重量或所載置的基板的重量，而有末端執(zhí)行器產(chǎn)生撓曲的情況。此外，尤其是晶圓搬送機械手，有末端執(zhí)行器的作業(yè)空間被限制得極為狹窄的情況，也有末端執(zhí)行器與其他物體產(chǎn)生干擾的情況。再者，例如，在機器手臂或末端執(zhí)行器...
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